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2、三座标通过探针与物体发生碰触，致使探针发生微量偏摆，而产生一个电信号，通过专用接收器，可将此点的三维座标值给记录下来。可能您会问探针发生偏摆，那不是不准了吗。因探针传感器为精密组件，都是通过多年的潜心钻研所制造出来的，外加有补偿系统支持，所以精度都是很高的，一般重复测量一个点，精度都在零点几微米之内。当然做得太烂就无语了。

本文到此讲解完毕了，希望对大家有帮助。